納米級潔凈車間的破壁之戰——解碼青島丹佳的微塵控制術
在青島西海岸半導體產業園，丹佳團隊打造的Class 1級潔凈車間正刷新行業標準。車間采用層流天花板與多孔地板形成的垂直單向流，風速穩定在0.45±0.05m/s區間，0.1μm微粒濃度控制在1個/m3以內。獨創的V型導流墻設計使氣流均勻度達到95%，徹底消除傳統潔凈室常見的渦流死角。
2025-04-14
